




特種氣體管道
氣體滲透性:
氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因?yàn)榭諝庵醒鯕夂偷獨(dú)夥謮毫?大、氣體分子相對較小,管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮?dú)獾臐B透 , 一般對氧氣的滲透測試比較多。
特氣管道試壓
1、管道試壓前應(yīng)全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等,質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。
2、管道試壓應(yīng)編制試驗(yàn)方案,根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線,如放空管、排液管等可不進(jìn)行試壓。

特種氣體的雜質(zhì)檢測和監(jiān)控
隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從zui早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),特種氣體供應(yīng)商,原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng),閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢,工業(yè)特種氣體,氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓胤N氣體廠,所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻R话氵x擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。
特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥,主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換,深圳特種氣體,所以還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管,CDA可采用SUS316L-BA管,其管徑根據(jù)氣柜的多少來計(jì)算決定。


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